전사부재 및 선택적 전사 기술을 이용한 액티브 매트릭스 RGB 수직형 마이크로LED 디스플레이Active-Matrix RGB vertical microLED display using transfer member and selective-transferring method
본 발명은 액티브 매트릭스 위에 배열된 RGB 마이크로LED 어레이를 전도성 전사부재를 매개로 하여 동시에 전사 및 상호연결함으로써, 액티브 매트릭스 구조의 RGB 수직형 마이크로LED(VLED) 디스플레이 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조방법은 LED 층의 박리에 저렴한 금속 응력층을 이용한 기계적 박리 방식을 사용함으로써, 공정 가격을 크게 낮추고 고성능의 소자를 구현할 수 있다. 또한, 본 발명의 마이크로LED 디스플레이 제조방법은 마이크로LED 어레이를 디스플레이용 액티브 매트릭스 상부에 부착함에 있어서 전도성 전사부재 및 선택적 전사를 이용함으로써 비싼 LED 성장 전용 기판의 낭비를 최소화할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-03-13
- Application Number
- 10-2018-0028951
- Registration Date
- 2020-03-25
- Registration Number
- 10-2095215-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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