선택식각 공정을 이용한 마이크로 볼로미터 제조방법 및 이에 따라 제조된 마이크로 볼로미터

Abstract

적외선 센서에 이용될 수 있는 마이크로 볼로미터 및 이의 제조방법이 제공된다. 실시예에 따른 마이크로 볼로미터는 기판 상에 배치되는 전극; 상기 기판 상에 배치되며 상기 전극과 이격되어 배치되는 반사층; 상기 전극 및 상기 반사층 상에 배치되고, 상기 반사층과 중첩하는 공동을 정의하며, 흡수 적외선에 의해 온도가 변화되는 볼로미터층;을 포함하고, 상기 볼로미터층은: 적외선을 흡수하는 물질을 포함하는 적외선 흡수층; 및 상기 적외선 흡수층과 접하고, 상기 온도에 따라 저항이 변화되는 물질을 포함하는 센서층;을 포함하며, 상기 적외선 흡수층의 적어도 일부는 상기 전극과 접촉하여 배치되며, 상기 전극 상부에서 상기 적외선 흡수층 상에 배치된 앵커금속을 더 포함할 수 있다.