반사거울과 슬릿빔을 이용한 임의 표면형상 계측장치

Abstract

본 발명은 슬릿빔과 영상획득장치를 이용하여 피측정물의 3차원 형상을 추출하는 계측기기에 관한 것으로, 특히 하나의 슬릿빔과 한 대의 영상획득장치, 반사거울을 이용하여 피측정물의 전체 표면형상을 추출하는 계측기기에 관한 것이다. 본 계측기기는 피측정물의 앞면 방향에 설치된 슬릿빔 발생기에서 슬릿빔을 피측정물의 윗쪽면에 주사하면, 주사된 슬릿빔은 피측정물의 표면형상에 따라 변형을 일으키고, 이것을 피측정물의 일정각도 위쪽에 설치된 영상획득장치로 상기 슬릿빔의 변형형상을 영상으로 획득한 후, 슬릿빔 발생기와 영상획득장치의 각도, 슬릿빔의 변형정보등을 이용하여 피측정물의 표면형상을 추출한다. 본 계측기기의 특징은 하나의 슬릿빔 발생기와 한 대의 영상획득장치를 이용하여 피측정물의 형상을 추출하되, 피측정물의 앞면에 놓인 슬릿빔 발생기에서 슬릿빔을 주사할 때, 상기 슬릿빔이 주사될 수 없는 영역인 피측정물 옆면의 표면형상을 추출하기 위해 반사거울을 채용함으로써, 반사된 상을 형상추출에 이용한다. 상기 방식은 일직선의 슬릿빔이 반사거울에 입사된 후, 상기 입사된 슬릿빔이 반사되어 피측정물의 옆면에 주사되고, 피측정물의 옆면에 표면형상에 따라 변형된 슬릿빔은, 피측정물의 상과 함께 반사거울에 나타난다.1: 측정물 2: 영상획득장치 3: 슬릿빔발생장치 4: 오른쪽 반사거울 5: 왼쪽 반사거울