초음파 탐촉자 및 그 제조방법Ultrasound prove array and fabrication method of thereof
본 발명은 소정의 두께를 갖는 흡음층; 상기 흡음층 상에 2차원 형상으로 배열된 복수개의 압전체; 상기 복수개의 압전체 상에 형성되며 상기 흡음층에 적층되고, 도전막을 구비하는 유연기판; 및 상기 유연기판 상에 형성된 정합층;을 포함하고, 상기 복수개의 압전체 및 상기 유연기판을 접합하며, 상기 초음파 탐촉자의 임피던스 정합을 위한 음향 임피던스로 설정된 제 1 도전성 부재; 및 상기 흡음층과 상기 복수개의 압전체를 접합하고, 전도성을 가지며, 흡음을 위한 음향 임피던스 및 손실 값을 갖는 제 2 도전성 부재;를 더 포함하는, 초음파 탐촉자 및 그 제조방법을 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-07-23
- Application Number
- 10-2018-0085450
- Registration Date
- 2020-03-19
- Registration Number
- 10-2093248-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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