트리플렉스 본딩층 결함 검사 장치 및 방법

Abstract

본 발명은 트리플렉스 설치 영역을 따라 자동으로 움직이는 트리플렉스 본딩층 결함 검사 장치와, 트리플렉스 결함 유무의 판단이 가능하고, 결함 분류와 동시에 시각화가 가능한 트리플렉스 본딩층 결함 검사 방법이 제공하기 위한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 트리플렉스 본딩층 결함 검사 장치는 트리플렉스 본딩층을 갖는 구조물에 열에너지를 발생시키는 가진부, 상기 가진부로부터 상기 구조물에 전파되는 열에너지의 이미지를 계측하는 계측부, 상기 계측부에 의해 획득한 열화상 이미지를 전달받아 트리플렉스 본딩층의 결함을 검출하고 분류하는 제어부, 상기 구조물의 트리플렉스 본딩층을 검출하는 센서부, 상기 센서부에 의해 검출된 트리플렉스 본딩층이 있는 위치로 가진부 및 계측부를 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.