광빗 위상분광 기반 피코미터 분해능의 미세변위 측정기술
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Nguyen, Anh | ko |
| dc.contributor.author | 김영진 | ko |
| dc.contributor.author | 천병재 | ko |
| dc.contributor.author | 김승우 | ko |
| dc.date.accessioned | 2020-01-19T10:20:33Z | - |
| dc.date.available | 2020-01-19T10:20:33Z | - |
| dc.date.created | 2020-01-13 | - |
| dc.date.issued | 2019-10-31 | - |
| dc.identifier.citation | 2019 한국정밀공학회 추계학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/271513 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 2019 한국정밀공학회 추계학술대회 | - |
| dc.title | 광빗 위상분광 기반 피코미터 분해능의 미세변위 측정기술 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 2019 한국정밀공학회 추계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 창원컨벤션센터 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김영진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 천병재 | - |
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