능동 홀로그래픽 광학 집게를 이용한 3차원 정밀 광 조형 방법 및 장치3D PHOTOLITHOGRAPHY METHOD AND APPARATUS USING ACTIVE HOLOGRAPHIC OPTICAL TWEEZERS
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 박용근 | ko |
| dc.contributor.author | 김규현 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-12-23T02:20:37Z | - |
| dc.date.available | 2019-12-23T02:20:37Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/270248 | - |
| dc.description.abstract | 능동 홀로그래픽 광학 집게를 이용한 3차원 정밀 광조형 방법 및 장치가 개시된다. 3차원 정밀 광조형 방법은, 광조형 기술로 제작된 물체(object)의 3차원 굴절률 분포를 측정하는 단계, 및 상기 3차원 굴절률 분포와 상기 물체의 3차원 형상 정보에 기초하여 광학 집게의 포획광의 파면을 제어하는 단계를 포함할 수 있다. | - |
| dc.title | 능동 홀로그래픽 광학 집게를 이용한 3차원 정밀 광 조형 방법 및 장치 | - |
| dc.title.alternative | 3D PHOTOLITHOGRAPHY METHOD AND APPARATUS USING ACTIVE HOLOGRAPHIC OPTICAL TWEEZERS | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 박용근 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김규현 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2019-0073327 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2051262-0000 | - |
| dc.date.application | 2019-06-20 | - |
| dc.date.registration | 2019-11-26 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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