나노그레이팅 기판에 희생층 패터닝을 이용한 대면적 나노와이어 제작 방법

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dc.contributor.author조민승ko
dc.contributor.author서민호ko
dc.contributor.author이재신ko
dc.contributor.author최광욱ko
dc.contributor.author유재영ko
dc.contributor.author윤준보ko
dc.date.accessioned2019-12-13T11:27:13Z-
dc.date.available2019-12-13T11:27:13Z-
dc.date.created2019-11-30-
dc.date.issued2019-04-05-
dc.identifier.citation제 21회 한국MEMS학술대회-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/269497-
dc.languageKorean-
dc.publisher마이크로나노시스템학회-
dc.title나노그레이팅 기판에 희생층 패터닝을 이용한 대면적 나노와이어 제작 방법-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.publicationname제 21회 한국MEMS학술대회-
dc.identifier.conferencecountryKO-
dc.identifier.conferencelocation제주 KAL호텔-
dc.contributor.localauthor윤준보-
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EE-Conference Papers(학술회의논문)
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