나노그레이팅 기판에 희생층 패터닝을 이용한 대면적 나노와이어 제작 방법

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Publisher
마이크로나노시스템학회
Issue Date
2019-04-05
Language
Korean
Citation

제 21회 한국MEMS학술대회

URI
http://hdl.handle.net/10203/269497
Appears in Collection
EE-Conference Papers(학술회의논문)
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