역오팔 광학 구조체, 이의 제조방법 및 이를 이용한 광학센서

Abstract

본 발명은 역오팔 광학 구조체, 이의 제조방법 및 이를 이용한 광학센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, UV 노광 세기와 노광 영역을 제어하여 단일 입자 구조로 다색 패턴이 가능한 역오팔 광학 구조체, 이의 제조방법 및 이를 이용한 광학센서에 관한 것이다. 본 발명은 단일 입자 구조를 사용하였음에도 증착, 열처리, 자외선 조사 등의 간단한 공정으로 다색의 마이크로패턴을 구현할 수 있다. 본 발명은 포토레지스트로 미세 패턴의 고분자 프레임을 제조할 수 있으므로 광학 구조체의 해상도를 높일 수 있다. 또한 본 발명의 광학 구조체는 공기 캐비티의 분율이 높고 수축시에도 캐비티가 균일한 형상을 유지하므로 높은 반사도 및 다양한 반사스펙트럼을 구현할 수 있다. 본 발명은 고분자 프레임으로 사용되는 포토레지스트의 종류를 다르게 하거나 자외선 조사 영역과 조사량을 제어하여 구조색이 변하는 온도 범위를 폭넓게 조절할 수 있다.