용액재료의 자발적 상분리와 선택적 젖음을 이용한 미세패턴 제조방법METHOD FOR MANUFACTURING A MICRO/NANO PATTERN USING SPONTANEOUS SEPARATION AND SELECTIVE WETTING OF SOLUTION MATERIALS
개시된 미세패턴 제조방법은, 베이스 기판 상에 친수성 화합물과 소수성 화합물을 포함하는 코팅 조성물을 코팅하고, 자발적 상분리를 통해 친수성 코팅층 및 상기 친수성 코팅층 위에 배치된 소수성 코팅층을 형성하는 단계, 상기 친수성 코팅층 및 상기 소수성 코팅층을 패터닝하여 친수성 영역 및 소수성 영역을 갖는 복합 패턴을 형성하는 단계, 상기 복합 패턴 상에, 선택적 젖음에 따라 상기 친수성 영역 또는 상기 소수성 영역에 선택적으로 패턴 형성 조성물을 배치하는 단계 및 상기 패턴 형성 조성물을 건조 또는 경화하여 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-03-07
- Application Number
- 10-2018-0027089
- Registration Date
- 2019-10-07
- Registration Number
- 10-2031825-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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