직렬 연결된 PIN 다이오드를 포함하는 메모리 소자 및 그의 제조 방법MEMORY DIVICE INCLUDING SERIALLY CONNECTED PIN DIODES AND FABRICATION METHOD THEREOF

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본 발명에 따른 메모리 소자는, 직렬 연결된 PIN 다이오드 구조를 포함하는 메모리 소자로서, 제1 기판, 상기 제1 기판 상에 형성된 P형 영역, N형 영역 및 상기 P형 영역과 상기 N형 영역 사이에 위치한 비도핑 영역에 의하여 형성된 복수의 PIN 다이오드, 상기 P형 영역 및 상기 N형 영역 상부에 형성된 복수의 연결선, 상기 복수의 PIN 다이오드 각각의 사이에 형성되어, 누설 전류를 차단하는 절연 영역, 상기 복수의 연결선 중 P형 영역으로만 이루어진 영역 또는 N형 영역으로만 이루어진 영역 상부에 형성된 연결선에 구비되는 패드, 상기 제1 기판 하부에 구비된 매몰 절연층, 및 상기 매몰 절연층 하부에 구비된 제2 기판;을 포함하고, 상기 P형 영역으로만 이루어진 영역 상부의 연결선에 형성된 패드는 전압원에 연결되고, 상기 N형 영역으로만 이루어진 영역 상부의 연결선에 형성된 패드는 그라운드(GND)에 연결된다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2019-09-25
Application Date
2017-11-20
Application Number
10-2017-0154949
Registration Date
2019-09-25
Registration Number
10-2027545-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/267816
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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