저방사 유기 기상 젯프린팅 방법 및 장치METHOD AND APPARATUS FOR ORGANIC VAPOR JET PRINTING OF LOW RADIATION

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dc.contributor.author유승협ko
dc.contributor.author김성연ko
dc.date.accessioned2019-10-08T02:20:15Z-
dc.date.available2019-10-08T02:20:15Z-
dc.date.issued2019-09-25-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/267811-
dc.description.abstract저방사 유기 기상 젯프린팅 방법 및 장치가 제시된다. 일 실시예에 따른 저방사 유기 기상 젯프린팅 장치는, 유기물을 가열하여 기화시키며 수송 기체를 공급 받아 기화된 상기 유기물과 함께 이송시키는 소스 챔버부; 및 상기 소스 챔버부로부터 기화된 상기 유기물 및 상기 수송 기체를 공급 받아 분사구를 통해 토출시키는 노즐부를 포함하고, 상기 노즐부의 적어도 일부는 저방사율 물질로 코팅되어 상기 기판에 가해지는 열 부하를 감소시키는 저방사 코팅부를 포함하여 이루어질 수 있다.-
dc.title저방사 유기 기상 젯프린팅 방법 및 장치-
dc.title.alternativeMETHOD AND APPARATUS FOR ORGANIC VAPOR JET PRINTING OF LOW RADIATION-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor유승협-
dc.contributor.nonIdAuthor김성연-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2017-0163939-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-2027655-0000-
dc.date.application2017-12-01-
dc.date.registration2019-09-25-
dc.publisher.countryKO-
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EE-Patent(특허)
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