은 나노와이어 박막 기반 투명전극의 성능 향상 및 레이저 패터닝에 관한 연구 = (A) study on performance improvement and laser patterning of transparent electrodes based on silver nanowire thin films

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은 나노와이어 박막은 투명 전도성 전극으로서 인듐주석산화물(ITO)층를 대체할만한 유망한 대안 중의 하나이다. 은 나노와이어 기반 투명전극을 전자소자에 응용하기 위해서는 패터닝 공정이 요구된다. 본 논문에서는 레이저 패터닝 공정에 의한 은 나노와이어 투명 전극의 광학 특성 변화를 보고한다. 은 나노와이어를 IR 레이저로 제거할 경우, 광학적으로 변질되는 문제를 발견하였다. 광학적 변질의 원인은 표면에 잔류해있는 은 나노입자의 광 흡수에 의한 것을 확인하였다. 이 은나노입자는 IR 레이저 집속 및 조사시 나노와이어가 충분한 기화되지 못하고 입자로 변화되어있는 것으로 분석되었다. 은의 흡수율이 높은 파장대의 엑시머 광원을 이용하여 패터닝하는 경우 은 물질의 기화로 인하여 은 나노입자가 표면에 잔류하지 않았다. 그 결과, 광학적 특성이 좋은 패터닝이 얻을 수 있었다.
Advisors
양민양researcherYang, Minyangresearcher
Description
한국과학기술원 :기계공학과,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2019
Identifier
325007
Language
kor
Description

학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학과, 2019.2,[1책 :]

Keywords

레이저 패터닝▼a은 나노와이어▼a광학적 특성▼a투명 전극; Laser patterning▼aSilver nanowire▼aOptical property▼aTransparent electrode

URI
http://hdl.handle.net/10203/264528
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=841713&flag=dissertation
Appears in Collection
ME-Theses_Ph.D.(박사논문)
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