본 발명은 접촉 저항을 줄인 고효율의 중온 열전 발전 모듈을 개발하기 위한 전제로서, 열전 소자의 접촉 저항을 고온에서 정확하게 측정할 수 있는 열전 소자의 접촉 저항 측정 장치에 관한 것으로, 열전 소재와 전극이 접합되는 접합 계면에서의 접촉 저항을 측정하기 위하여, 저항 측정용 전압을 인가하는 전압원과 열전 소자에 전류를 흐르게 하는 전류원을 포함하는 열전 소자의 접촉 저항 측정 장치로서, 측정 대상인 열전 소자의 일측에 위치하며 열전 소자를 가열하기 위한 광열 파장의 빛을 발산하는 광열기; 및 측정 대상인 열전 소자가 내부에 위치하도록 설치되며, 상기 광열 파장의 빛이 외부로 빠져나가는 것을 차단하는 차폐쉴드를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명은, 열전 소자를 빠르게 가열할 수 있는 광열기를 적용하는 동시에 광열 파장의 빛이 외부로 빠져나가는 것을 차단하는 차폐쉴드를 적용함으로써, 열전소자를 고온까지 빠르게 가열할 수 있고 가열된 상태를 안정적으로 유지할 수 있는 뛰어난 효과가 있다.