압축성 탄소나노튜브 네트워크를 포함하는 접촉식 마이크로 소자 및 이의 제조 방법

Abstract

본 발명은 압축성 탄소나노튜브 네트워크(이하, CNTs-network)를 포함하여, 높은 접촉 수명을 갖는 접촉식 마이크로 소자 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 수직방향으로 가해지는 힘에 의해 압축이 가능한 탄소나노튜브 네트워크를 포함하고, 이러한 압축으로 인한 접촉 면적의 변화를 통해 마이크로 소자의 전기 저항이 변화되어, 낮은 접촉 저항과 높은 접촉 수명을 갖는 마이크로 소자(예를 들어 MEMS 스위치, MEMS relay, 에너지 헤베스터 등)를 제공할 수 있다. 낮은 접촉저항을 가지면서도 대기 및 고전류 접촉 환경(1 mA)에서 백만 번 이상의 높은 수명을 갖는 장점이 있다.