다기능 미세 패턴의 제조 방법

Abstract

다기능 미세 패턴의 제조 방법이 제공된다. 상기 다기능 미세 패턴의 제조 방법은, 베이스 패턴이 형성된 베이스 기판을 준비하는 단계, 상기 베이스 패턴의 제1 영역을 노출시키고, 상기 제1 영역을 제외한 나머지 영역을 덮는 제1 쉐도우 마스크를 상기 베이스 기판 상에 배치하는 단계, 노출된 상기 제1 영역 상에 제1 기능성 물질을 제공하는 단계, 상기 베이스 기판으로부터 상기 제1 쉐도우 마스크를 제거하는 단계, 상기 베이스 패턴의 제2 영역을 노출시키고, 상기 제2 영역을 제외한 나머지 영역을 덮는 제2 쉐도우 마스크를 상기 베이스 기판 상에 배치하는 단계, 노출된 상기 제2 영역 상에 상기 제1 기능성 물질과 다른 특성을 갖는 제2 기능성 물질을 제공하는 단계, 상기 베이스 기판으로부터 상기 제2 쉐도우 마스크를 제거하는 단계, 및 상기 제1 및 제2 기능성 물질이 제공된 상기 베이스 기판을 타겟 기판과 접촉시켜, 상기 제1 및 제2 기능성 물질을 동시에 상기 타겟 기판 상에 전사하는 단계를 포함할 수 있다.