광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터

Abstract

본 발명은 흡수할 수 있는 적외선의 파장 대역을 넓히고, 적외선의 흡수효율을 높일 수 있는 광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터에 관한 것으로, 적외선 검출회로를 포함하는 기판, 상기 기판의 상면에 형성되어 상기 검출회로와 전기적으로 연결되는 금속패드, 상기 기판의 상면에 형성되는 반사판, 상기 반사판의 상면에 형성되어 상기 반사판을 보호하며, 티타늄 또는 산화실리콘으로 형성되는 보호막, 상기 반사판의 상부에 이격되어 형성되고, 입사되는 적외선을 흡수하면 저항이 변화하는 흡수부 및 상기 금속패드의 상부에 형성되어 상기 흡수부를 지지하고, 흡수부의 하면이 하측으로 휘어진 형태이기 때문에, 반사판과 흡수부 사이의 간격이 볼로미터의 위치마다 달라짐으로써 흡수부에서 보다 넓은 파장 대역의 적외선을 흡수하며, 상기 금속패드와 흡수부를 전기적으로 연결하는 앵커를 포함하는 것을 특징으로 한다.