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Browse "ME-Theses_Master(석사논문)" by Subject 삼차조화파▼a실리콘 웨이퍼▼a정밀측정▼a광학 검사▼a두께 분해형 측정

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펨토초 레이저의 표면상 삼차조화파 생성 특성을 활용한 실리콘 웨이퍼의 측정 및 접합 계면의 결함검사 = Silicon wafer’s non-destructive measurement and interface inspection system based on optical Third Harmonic Generation (THG)link

이인재; Lee, In Jae; et al, 한국과학기술원, 2023

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