다양한 전압 대비 정전용량 변화의 특성을 가지는 미세전자기계 시스템 가변 커패시터MEMS Variable Capacitor with voltage controllable various C-V Response
- Publisher
- 마이크로나노시스템학회
- Issue Date
- 2013-04-06
- Language
- Korean
- Citation
제15회 한국MEMS학술대회, pp.27 - 28
- Appears in Collection
- EE-Conference Papers(학술회의논문)
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