탄소-염소결합의염소가환원된실란화합물의제조방법METHOD FOR PREPARING SILANE COMPOUNDS

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본 발명은 금속 또는 금속 화합물의 촉매하에 다음 일반식(Ⅱ)의 실란 화합물을 트리클로로실란과 반응시키는 것으로 이루어진 수소가 한개 또는 두개 이상 치환된 일반식(I)의 실란 화합물의 제조방법에 관한 것이다.상기식에서, R1, R2 및 R3는 각각 독립적으로 염소 또는 메틸기이며, Z및 Z'은 각각 독립적으로 수소 또는 염소이다.본 발명의 제조방법에서는 저렴한 트리클로로실란을 사용함으로써 산업적 이용 가능성이 크다.
Assignee
한국과학기술연구원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
1998-06-29
Application Date
1995-10-30
Application Number
10-1995-0038120
Registration Date
1998-06-29
Registration Number
10-0152579-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/258165
Appears in Collection
RIMS Patents
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