나노 몰딩 복제법을 이용한 선 격자 편광판 및 그 제조 방법Wire grid polarizer using nano-molding replication and method for manufacturing the same
나노 몰딩 복제법을 이용한 선 격자 편광판 및 그 제조 방법이 제시된다. 본 발명에서 제안하는 나노 몰딩 복제법을 이용한 선 격자 편광판 제조 방법은 표면 요철 패턴이 있는 마스터 템플릿 기판을 제작하는 단계, 상기 마스터 템플릿 기판 상에 고분자 박막을 도포하고 접착 테이프를 이용하여 고분자 필름을 탈착함으로써 고분자 복제 박막 몰드를 형성하는 단계, 상기 고분자 복제 박막 몰드 상에 기능성 물질을 증착하여 기능성 나노 구조체를 형성하는 단계, 상기 고분자 복제 박막 몰드의 상부 증착을 식각을 통해 부분적으로 제거하는 단계, 상기 고분자 복제 박막 몰드를 선택적으로 캡슐화하는 단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2017-12-28
- Application Date
- 2015-12-15
- Application Number
- 10-2015-0179466
- Registration Date
- 2017-12-28
- Registration Number
- 10-1815354-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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