DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 원용협 | ko |
dc.contributor.author | 김준오 | ko |
dc.date.accessioned | 2019-04-15T17:34:54Z | - |
dc.date.available | 2019-04-15T17:34:54Z | - |
dc.date.issued | 2018-03-12 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/256709 | - |
dc.description.abstract | 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법이 개시된다.이 방법에서는, 먼저, 기판 상에 포토레지스트를 도포하여 포토레지스트층을 형성한다. 그 후, 마스크를 사용하여 상기 포토레지스트층의 일부를 노광하고, 상기 포토레지스트층의 상부에 박막을 형성한다. 계속해서, 상기 박막이 형성된 포토레지스트층을 현상하는 동시에 초음파 진동을 가하여 상기 박막이 융기하도록 한 후, 융기한 상기 박막에 전면 노광을 수행하여 마이크로 렌즈 어레이를 형성한다. | - |
dc.title | 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법 | - |
dc.title.alternative | Method for making micro lens array | - |
dc.type | Patent | - |
dc.type.rims | PAT | - |
dc.contributor.localauthor | 원용협 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김준오 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2015-0158816 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1839461-0000 | - |
dc.date.application | 2015-11-12 | - |
dc.date.registration | 2018-03-12 | - |
dc.publisher.country | KO | - |
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