자유형태 온도구배의 형성 및 동적 제어가 가능한 음향열적 미소 가열 장치Acoustonthermal Heating Device for Free-form Temperature Gradients And Dynamic Creation

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본 발명은 자유형태 온도구배의 형성 및 동적 제어가 가능한 음향열적 미소 가열 장치에 관한 것으로서, 표면탄성파를 발생시키도록 경사 교차 배열 형상을 가지고 SIDT(Slanted Finger Interdigital Transducer) 전극이 형성된 피에조 기판; 상기 SIDT 전극이 형성된 상기 피에조 기판상에 교접하며, 상기 피에조 기판에 발생된 표면탄성파를 흡수하여 발열되는 점탄성 물질로 이루어지는 가열체; 및 상기 SIDT 전극내 각 가열 영역들을 시공간적으로 가진 제어하도록 전류 신호를 발생시키는 신호 발생기;를 포함하도록 구성되어, 미소 구조체 내에 음향열적으로 직접 가열하여 샘플 내에 자유 형태의 온도구배를 동적으로 형성할 수 있도록 함과 아울러 시간 분할 신호 발생 방식을 통해 가 음향열적 가열을 시공간적으로 제어할 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2018-03-12
Application Date
2016-03-04
Application Number
10-2016-0026466
Registration Date
2018-03-12
Registration Number
10-1839574-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/256706
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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