메타물질을 갖는 마스크 형성 방법METHOD FOR FORMING MASK HAVING METAMATERIAL
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 민범기 | ko |
| dc.contributor.author | 김우영 | ko |
| dc.contributor.author | 김동환 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-04-15T17:34:40Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-15T17:34:40Z | - |
| dc.date.issued | 2018-03-13 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/256702 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명의 실시 형태에 따른 메타물질을 갖는 마스크 형성 방법은, 자외선 투과 기판 상에 자외선 차단막을 형성하는 단계; 상기 자외선 차단막을 패터닝하여 패터닝된 자외선 차단막과 상기 자외선 투과 기판을 포함하는 마스크를 형성하는 단계; 메타물질을 미리 준비하는 단계; 및 상기 마스크에 상기 메타물질을 전사하는 단계;를 포함한다. 이러한 메타물질을 갖는 마스크 형성 방법에 의하면, 마스크의 표면 구조에 관계없이 메타물질의 형태를 그대로 유지시키면서 마스크로 전사할 수 있어 마스크에 전사된 메타물질의 광 특성이 변하지 않는 이점이 있다. | - |
| dc.title | 메타물질을 갖는 마스크 형성 방법 | - |
| dc.title.alternative | METHOD FOR FORMING MASK HAVING METAMATERIAL | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 민범기 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김동환 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2016-0062880 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1839903-0000 | - |
| dc.date.application | 2016-05-23 | - |
| dc.date.registration | 2018-03-13 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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