반도체 테스트 장치, 반도체 장치 및 반도체 테스트 방법SEMICONDUCTOR TEST DEVICE, SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE
본 발명은 관통 전극을 포함하는 기판과 그 상부의 금속 배선층 사이의 정상 연결 여부, 관통 전극과 기판 사이의 절연 여부 등을 테스트할 수 있는 반도체 테스트 장치, 반도체 장치 및 반도체 테스트 방법에 관한 것이다.본 발명에 의한 반도체 테스트 장치는 제어 단자를 포함한 발진기 및 관통 전극 또는 상기 관통 전극과 연결된 금속 배선층과 상기 제어 단자를 선택적으로 연결하는 스위치를 포함한다.
- Assignee
- 에스케이하이닉스 주식회사,한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2018-04-02
- Application Date
- 2012-08-14
- Application Number
- 10-2012-0088725
- Registration Date
- 2018-04-02
- Registration Number
- 10-1846562-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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