탄소 섬유 직물/탄소 나노 튜브 전극의 제조 방법

Abstract

본원발명에 의하면, 전극의 제조 방법에 있어서, 전자빔 증발기(E-beam Evaporator)에서 이산화규소(SiO2) 희생층(Sacrificial Layer) 위에 금속 촉매(Metallic Catalyst)를 증착한 후 CVD(Chemical Vapor Deposition) 장비에서 상기 금속 촉매 위에 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nanotube)를 성장시키는 성장 과정; 수조 내의 증류수(Di-Water) 상에서 불화수소(HF)를 이용하여 상기 이산화규소(SiO2) 희생층을 제거하는 제거 과정; 상기 수조 내의 상기 증류수의 표면 상에 상기 탄소나노튜브(CNT)가 분자간의 거리를 유지하면서 뜬 상태에서, 상기 증류수의 표면 아래로 탄소섬유직물(Carbon Fiber Woven Fabric)이 얹혀진 이산화규소(SiO2) 임시층(Temporary Layer)을 담금하는 담금 과정; 상기 수조 내의 상기 증류수 상에서 상기 탄소섬유직물 위에 상기 탄소나노튜브(CNT)를 적층(Laminating)한 후 상기 이산화규소(SiO2) 임시층을 상기 증류수 밖으로 꺼내는 전사(Transfer) 과정; 및 상기 탄소섬유직물을 진공 오븐(Vacuum Furnace)에서 기 설정된 온도 및 시간만큼 건조시킨 후 진공 열처리(Vacuum Annealing)하여 상기 탄소섬유직물과 상기 탄소나노튜브(CNT)가 구조를 유지하도록 하는 접합 상태로 만드는 접합 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유직물/탄소나노튜브 전극의 제조 방법을 제공할 수 있다.