DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 윤기완 | ko |
dc.contributor.author | 송해일 | ko |
dc.contributor.author | 이재영 | ko |
dc.contributor.author | 마이린 | ko |
dc.contributor.author | 휴메이윤 캬비르 | ko |
dc.date.accessioned | 2019-04-15T16:12:35Z | - |
dc.date.available | 2019-04-15T16:12:35Z | - |
dc.date.created | 2013-06-28 | - |
dc.date.created | 2013-06-28 | - |
dc.date.issued | 2007-11 | - |
dc.identifier.citation | 한국정보통신학회논문지, v.11, no.11, pp.2090 - 2094 | - |
dc.identifier.issn | 2234-4772 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/255652 | - |
dc.description.abstract | 박막음향공진기(FBAR) 기술은 현재의 실리콘 공정기술과 높은 집적화 가능성으로 인하여 차세대 RF 필터를 제작할 수 있는 매우 희망적인 기술로 최근에 큰 관심을 불러 일으켜 왔다. RF 필터는 기본적으로 여러 개의 FBAR 소자들을 직렬과 병렬로 연결된 형태로 구성되므로 그 필터의 특성은 각각의 FBAR 소자의 특성에 크게 의존하게 된다. 따라서 우수한 품질의 FBAR 소자를 제작하기 위해서는 우선적으로 소자 및 공정의 최적화 설계가 중요한다. 이러한 최적화 설계는 FBAR 소자 특성을 크게 향상 시킬 수 있게 되고, 궁극적으로 우수한 성능을 가진 FBAR 필터의 구현으로 이어지게 된다. 본 논문에서는, 이러한 FBAR 소자의 공진특성을 더욱 효과적으로 향상시킬 수 있는 방법들에 관한 연구결과를 고찰하고 논의한다. | - |
dc.language | Korean | - |
dc.publisher | 한국정보통신학회 | - |
dc.title | FBAR 소자의 제작기법 및 공진특성 | - |
dc.title.alternative | Fabrication Techniques & Resonance Characteristics of FBAR Devices | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.citation.volume | 11 | - |
dc.citation.issue | 11 | - |
dc.citation.beginningpage | 2090 | - |
dc.citation.endingpage | 2094 | - |
dc.citation.publicationname | 한국정보통신학회논문지 | - |
dc.identifier.kciid | ART001112918 | - |
dc.contributor.localauthor | 윤기완 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 송해일 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이재영 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 마이린 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 휴메이윤 캬비르 | - |
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