극자외선 고차 조화파 생성 장치EUV HIGH HARMONIC GENERATION APPARATUS
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김승우 | ko |
| dc.contributor.author | 한승회 | ko |
| dc.contributor.author | 김현웅 | ko |
| dc.contributor.author | 김용우 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-04-15T15:38:50Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-15T15:38:50Z | - |
| dc.date.issued | 2018-10-12 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/255209 | - |
| dc.description.abstract | 극자외선 고차 조화파 생성 장치가 개시된다. 일 실시예는 펨토초 레이저 발생기에서 출력되는 빛을 전달하는 광 전달수단과, 상기 광 전달수단을 통해 전달받은 빛이 통과할 때 근접장 증폭이 일어날 수 있는 금속 박막이 포함된 사파이어를 포함한다. | - |
| dc.title | 극자외선 고차 조화파 생성 장치 | - |
| dc.title.alternative | EUV HIGH HARMONIC GENERATION APPARATUS | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 한승회 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김현웅 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김용우 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2016-0176602 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1909790-0000 | - |
| dc.date.application | 2016-12-22 | - |
| dc.date.registration | 2018-10-12 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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