비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버 및 비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버의 제조 방법ELECTROSTATIC MULTIMORPH CANTILEVER ACTUATORS WITH NON-CONTACT ACTUATION SCHEME AND METHODS OF MANUFACTURING ELECTROSTATIC MULTIMORPH CANTILEVER ACTUATORS
비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버는 전극, 캔틸레버(cantilever)층 및 접촉 방지 부재(stopper)를 포함한다. 캔틸레버층은 전극 상에 배치되고, 일단이 고정되며, 응력 특성이 상이한 복수의 층들에 기초하여 제1 방향으로 휘고 정전기력에 의해 제2 방향으로 구동된다. 접촉 방지 부재는 캔틸레버층에 배치되고, 캔틸레버층의 일면이 전극과 캔틸레버층 사이에 배치된 타 부재에 접촉하는 것을 방지한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2018-11-16
- Application Date
- 2016-08-19
- Application Number
- 10-2016-0105346
- Registration Date
- 2018-11-16
- Registration Number
- 10-1921273-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.