트렌치를 이용한 나선형 나노구조체 및 그의 제조 방법SPIRAL NANO―STRUCTURE USING TOPOGRAPHIC TEMPLATES AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
본 발명은 나선 형태의 블록공중합체 자기조립 유도를 위한 트렌치의 제작 및 이를 이용한 나선형 나노구조체의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상향식 공정(bottom―up process)만을 이용하여 비대칭 형태인 나선형 나노구조체를 제작할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2018-12-18
- Application Date
- 2017-03-22
- Application Number
- 10-2017-0035880
- Registration Date
- 2018-12-18
- Registration Number
- 10-1932334-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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