단결정 실리콘 박막, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 전자소자Single Crystalline Si Film, Method for Manufacturing the Same, and Electronic Device Including the Same
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 조병진 | ko |
| dc.contributor.author | 김승윤 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-04-15T14:44:50Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-15T14:44:50Z | - |
| dc.date.issued | 2018-12-19 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/254377 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 단결정 실리콘 박막에 관한 것으로, 상세하게, 본 발명에 따른 단결정 실리콘 박막은 하기 관계식 1을 만족하며 8nm 이하의 두께를 갖는다. (관계식 1) 관계식 1에서, dbulk(110)는 벌크 단결정 실리콘의 (110) 면간 거리이며, dsl(110)은 단결정 실리콘 박막의 (110) 면간 거리 | - |
| dc.title | 단결정 실리콘 박막, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 전자소자 | - |
| dc.title.alternative | Single Crystalline Si Film, Method for Manufacturing the Same, and Electronic Device Including the Same | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 조병진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김승윤 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2017-0050278 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1932757-0000 | - |
| dc.date.application | 2017-04-19 | - |
| dc.date.registration | 2018-12-19 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.