유기 박막 트랜지스터용 기능성 절연체 박막의 제조방법

Abstract

본 발명은 화학기상증착법을 이용하여 개시제, 무극성 단량체 및 전자주게 그룹을 포함하는 단량체를 중합시켜 공중합체를 형성하고 공중합체가 형성된 기판 상에 무극성 중합체로 표면처리함으로써 유기 박막 트랜지스터용 절연막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 공중합체의 조성에 따라서 고분자 절연막의 표면이 아닌 내부 전하농도 및 유기 박막 트랜지스터의 문턱전압을 조절할 수 있다. 또한, 개시제, 무극성 단량체 및 큰 전기음성도를 가진 그룹을 포함하는 단량체를 중합시켜 공중합체를 형성하여 유기 박막 트랜지스터의 동작 안정성을 향상시킬 수 있다. 두 공중합체 모두 매우 얇은 두께에서도 우수한 절연특성을 나타내어 저전압 구동 소자를 위한 게이트 절연막으로 적합한 유기 박막 트랜지스터용 절연체 박막의 제조방법에 관한 것이다.