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Browse "PH-Theses_Ph.D.(박사논문)" by Author Chang, Hong Young

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1
A study on cutoff probe improvement for high density magnetized plasma measurement = 고밀도 자화 플라즈마 측정을 위한 컷오프 탐침 개선 연구link

You, Kwang Ho; 유광호; et al, 한국과학기술원, 2015

2
On ion energy control of dual frequency capacitive coupled plasma for high aspect ratio process = 고 종횡비 공정을 위한 이중 주파수 축전 결합 플라즈마의 이온 에너지 제어 연구link

Park, Gi-Jung; 박기정; et al, 한국과학기술원, 2016

3
Research on characteristics of the low pressure and low density e-beam plasma and its application to etching process = 저압 저밀도 전자빔 플라즈마의 특성과 에칭 공정 응용에 대한 연구link

Bae, In Shik; 배인식; et al, 한국과학기술원, 2017

4
Studies on reactor structure in transformer coupled toroidal plasma = 변압기 결합 토로이덜 플라즈마에서 반응기 구조에 관한 연구link

You, Dae Ho; 유대호; et al, 한국과학기술원, 2015

5
Study on the arcing mechanism in capacitively-coupled plasma = 축전 결합 플라즈마에서의 아킹 메커니즘에 대한 연구link

Kim, Yonghoon; 김용훈; et al, 한국과학기술원, 2015

6
Study on the characteristics of atmospheric pressure plasma jetsoperated by nanosecond pulses = 나노 초 펄스에서 구동되는 대기압 플라즈마 제트의 특성 연구link

Seol, Youbin; 설유빈; et al, 한국과학기술원, 2017

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