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Browse "PH-Theses_Ph.D.(박사논문)" by Author Chang, Hong-Young

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22
박막형 실리콘 태양전지 증착을 위한 대면적 고속 증착장비 연구 = Study on the VHF multi-electrode CCP for the microcrystalline silicon thin film solar cellslink

이윤성; Lee, Yun-Seong; et al, 한국과학기술원, 2013

23
병렬 공명 안테나를 이용한 유도 결합 플라즈마 원 개발 및 플라즈마 변수 제어에 관한 연구 = Development of an inductively coupled plasma source using a parallel resonance antenna and study on the plasma parameter controllink

이동석; Lee, Dong-Seok; et al, 한국과학기술원, 2005

24
신공정을 위한 플라즈마 소스의 특성연구와 제어변수의 개발 = On the characteristics of the plasma sources for the new processeslink

엄세훈; Uhm, Sae-Hoon; et al, 한국과학기술원, 2004

25
전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 특성 및 중성종에 관한 연구 = Electron cyclotron resonance plasma characteristics and neutral density depletionlink

이평우; Lee, Pyung-Woo; et al, 한국과학기술원, 1997

26
전자빔으로 생성되는 플라즈마의 특성과 전자빔 플라즈마를 이용하여 공정용 가스의 이온 및 활성종 제어에 관한 연구 = Study on the characteristics of electron beam generated plasma and the control of ions and radicals in electron beam generated plasmalink

채수항; Chae, Soo-Hang; et al, 한국과학기술원, 2010

27
컷오프 탐침을 이용한 플라즈마 내에서의 웨이브 투과특성에 관한 연구 = On the wave transmission characteristics in plasma with cutoff probelink

나병근; Na, Byung-Keun; et al, 한국과학기술원, 2012

28
펄스 유도결합플라즈마에서 전하입자의 거동에 관한 연구 = Study on the behavior of charged particles in a pulsed inductively coupled plasmalink

이정범; Lee, Jeong-Beom; et al, 한국과학기술원, 2010

29
헬리콘파 플라즈마 발생 및 특성 연구 = Study of helicon wave plasma production and its characteristicslink

김정형; Kim, Jung-Hyung; et al, 한국과학기술원, 1996

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