무접합 수직 게이트 트랜지스터를 갖는 반도체 소자 및 그 제조 방법SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING JUNCTIONLESS VERTICAL GATE TRANSISTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

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dc.contributor.author이석희ko
dc.contributor.author문정민ko
dc.contributor.author김태균ko
dc.date.accessioned2019-04-15T14:18:08Z-
dc.date.available2019-04-15T14:18:08Z-
dc.date.issued2019-02-13-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/254058-
dc.description.abstract무접합 수직 게이트 트랜지스터를 갖는 반도체 소자 및 그 제조 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 반도체 소자는 기판에 수직으로 돌출되며, 하부로부터 제1 불순물 영역, 제2 불순물 영역 및 제3 불순물 영역을 포함하는 활성 기둥; 상기 제2 불순물 영역의 측벽에 형성된 게이트 전극; 및 상기 게이트 전극과 교차하며, 상기 제1 불순물 영역과 접촉하는 비트라인;을 포함하며, 상기 제1 내지 제3 불순물 영역은 동일한 극성의 불순물을 포함하는 것을 특징으로 한다.-
dc.title무접합 수직 게이트 트랜지스터를 갖는 반도체 소자 및 그 제조 방법-
dc.title.alternativeSEMICONDUCTOR DEVICE HAVING JUNCTIONLESS VERTICAL GATE TRANSISTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor이석희-
dc.contributor.nonIdAuthor문정민-
dc.contributor.nonIdAuthor김태균-
dc.contributor.assignee에스케이하이닉스 주식회사,한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2018-0098672-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1950146-0000-
dc.date.application2018-08-23-
dc.date.registration2019-02-13-
dc.publisher.countryKO-
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EE-Patent(특허)
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