전영역 MAS 스캐닝 시스템 및 방법Full-Field MAS Scanning System and Method

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전영역 MAS 스캐닝 시스템 및 방법이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 MAS 스캐닝 시스템은, MAS에 마이크로파를 조사하고, MAS에서 반사된 마이크로파를 수신하는 제1 안테나, 제1 안테나에서 조사되어 MAS를 반사 혹은 투과한 마이크로파를 수신하는 제2 안테나 (혹은 제3 안테나 동시 사용), MAS의 위치를 이동시키는 이동 스테이지, 제1 안테나를 통해 마이크로파를 조사하고, 제1 안테나와 제2 안테나를 통해 수신된 마이크로파들로부터 측정 결과를 생성하는 분석기 및 MAS의 다수의 지점들에서 측정이 이루어지도록 이동 스테이지에 의한 MAS의 위치 이동과 분석기에 의한 마이크로파 조사를 제어하며 분석기로부터 전달받은 측정 결과를 가시화하는 컴퓨팅 장치를 포함한다. 이에 의해, 전자기적 도료, 재료, 임의의 형상의 MAS의 전영역에 대해 마이크로파 흡수/반사/투과 특성을 측정하고 주파수대 공간상의 스펙트럼을 동영상화할 수 있게 되어, 세밀하고 정밀한 자유 공간 기반 측정이 가능해진다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2019-01-31
Application Date
2017-08-08
Application Number
10-2017-0100183
Registration Date
2019-01-31
Registration Number
10-1946720-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/254040
Appears in Collection
AE-Patent(특허)
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