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Scheduling of the photolithography process for semiconductor manufacturing = 반도체 포토공정의 일정계획link Kim, Young-Hwan; 김영환; Sung, Chang-Sup; 성창섭, 한국과학기술원, 1996 | |
(A) scheduling algorithm for diffusion process with limited waiting time constraints in a semiconductor wafer fabrication facility = 반도체 공정 중 Diffusion process 의 시간제약조건을 고려한 스케쥴링 해법link Seok, Hye-Sung; 석혜성; Kim, Yeong-Dae; 김영대, 한국과학기술원, 2009 | |
반도체 공정에서 시간 제약 하에 병렬 설비를 갖는 연속 배치 공정의 스케줄링 연구 = Scheduling of consecutive batch process with parallel diffusion tools under time window constraints for semiconductor manufacturinglink 정찬휘; Jung, Chan-Hwi; 이태억; Lee, Tae-Eog, 한국과학기술원, 2014 |
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