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1
Analysis of circular cluster tools : transient behavior and semiconductor equipment models = Circular 클러스터 툴의 분석 : 불안정상태에서의 행동과 반도체 장비에 대한 모델link

Ahn, Young-Hun; 안영훈; et al, 한국과학기술원, 2011

2
Analysis of circular cluster tools : transient behavior and semiconductor equipment models = Circular 클러스터 툴의 분석 : 불안정상태에서의 행동과 반도체 장비에 대한 모델link

Ahn, Young-Hun; 안영훈; et al, 한국과학기술원, 2011

3
공정모듈 작업시간의 변동이 있는 양팔 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of dual-armed cluster tools with process time variationlink

최우성; Choi, Woo-seong; et al, 한국과학기술원, 2010

4
다중 슬롯 클러스터 장비의 안정상태 스케줄링 및 모델링 = Steady state scheduling and modeling of multi-slot cluster toolslink

정치현; Jung, Chi-Hyun; 이태억; 김영대; et al, 한국과학기술원, 2006

5
소 로트 웨이퍼 제조를 위한 가용시간 제약이 있는 클러스터 장비의 스케줄링 방법 = Scheduling of cluster tools with ready time constraints for small lot wafer fabricationlink

김현정; Kim, Hyun-Jung; et al, 한국과학기술원, 2011

6
소 로트 웨이퍼 제조를 위한 가용시간 제약이 있는 클러스터 장비의 스케줄링 방법 = Scheduling of cluster tools with ready time constraints for small lot wafer fabricationlink

김현정; Kim, Hyun-Jung; et al, 한국과학기술원, 2011

7
챔버 클리닝 공정을 포함하는 다중 슬롯 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of multi-slot cluster tools with chamber cleaning operationlink

지영준; 이태억; et al, 한국과학기술원, 2017

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