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매엽식 웨이퍼 자동선별라인의 RGV 기반 운송시스템 운용전략 및 디자인 = Operational strategies and designs of rail guided vehicle-based wafer handling systems for single wafer testing lineslink 하재석; Ha, Jae-soek; et al, 한국과학기술원, 2008 |
중간 버퍼를 갖는 클러스터 장비의 운용 전략 = Operating strategies for cluster tools with intermediate bufferslink 백진흠; Paek, Jin-Heum; et al, 한국과학기술원, 2002 |
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