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공정모듈 작업시간의 변동이 있는 양팔 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of dual-armed cluster tools with process time variationlink 최우성; Choi, Woo-seong; et al, 한국과학기술원, 2010 |
다중 슬롯 클러스터 장비의 안정상태 스케줄링 및 모델링 = Steady state scheduling and modeling of multi-slot cluster toolslink 정치현; Jung, Chi-Hyun; 이태억; 김영대; et al, 한국과학기술원, 2006 |
소 로트 웨이퍼 제조를 위한 가용시간 제약이 있는 클러스터 장비의 스케줄링 방법 = Scheduling of cluster tools with ready time constraints for small lot wafer fabricationlink 김현정; Kim, Hyun-Jung; et al, 한국과학기술원, 2011 |
소 로트 웨이퍼 제조를 위한 가용시간 제약이 있는 클러스터 장비의 스케줄링 방법 = Scheduling of cluster tools with ready time constraints for small lot wafer fabricationlink 김현정; Kim, Hyun-Jung; et al, 한국과학기술원, 2011 |
챔버 클리닝 공정을 포함하는 다중 슬롯 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of multi-slot cluster tools with chamber cleaning operationlink 지영준; 이태억; et al, 한국과학기술원, 2017 |
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