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다중 슬롯 클러스터 장비의 안정상태 스케줄링 및 모델링 = Steady state scheduling and modeling of multi-slot cluster toolslink 정치현; Jung, Chi-Hyun; 이태억; 김영대; et al, 한국과학기술원, 2006 |
병렬 챔버간 이송시간이 다른 양팔 클러스터 장비의 주기적 스케줄링 = Cyclic scheduling of dual-armed cluster tools with different wafer transport times between parallel chamberslink 김대규; Kim, Dae-Kyu; et al, 한국과학기술원, 2009 |
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