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| 소 로트 웨이퍼 제조를 위한 가용시간 제약이 있는 클러스터 장비의 스케줄링 방법 = Scheduling of cluster tools with ready time constraints for small lot wafer fabricationlink 김현정; Kim, Hyun-Jung; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 소 로트 웨이퍼 제조를 위한 가용시간 제약이 있는 클러스터 장비의 스케줄링 방법 = Scheduling of cluster tools with ready time constraints for small lot wafer fabricationlink 김현정; Kim, Hyun-Jung; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 챔버 클리닝 공정을 포함하는 다중 슬롯 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of multi-slot cluster tools with chamber cleaning operationlink 지영준; 이태억; et al, 한국과학기술원, 2017 |
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- 1,396 Thesis(Master)