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병렬 챔버간 이송시간이 다른 양팔 클러스터 장비의 주기적 스케줄링 = Cyclic scheduling of dual-armed cluster tools with different wafer transport times between parallel chamberslink 김대규; Kim, Dae-Kyu; et al, 한국과학기술원, 2009 |
중간 버퍼를 갖는 클러스터 장비의 운용 전략 = Operating strategies for cluster tools with intermediate bufferslink 백진흠; Paek, Jin-Heum; et al, 한국과학기술원, 2002 |
후 공정을 고려한 양 팔 클러스터 장비의 스케줄링과 제어 = Scheduling and control of dual-armed cluster tools with post processeslink 김희정; Kim, Hee-Jung; 이태억; 김영대; et al, 한국과학기술원, 2006 |
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