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챔버 클리닝 공정을 포함하는 다중 슬롯 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of multi-slot cluster tools with chamber cleaning operationlink 지영준; 이태억; et al, 한국과학기술원, 2017 |
후 공정을 고려한 양 팔 클러스터 장비의 스케줄링과 제어 = Scheduling and control of dual-armed cluster tools with post processeslink 김희정; Kim, Hee-Jung; 이태억; 김영대; et al, 한국과학기술원, 2006 |
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