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(A) study on high mechanically reliable digital micromirror with interdigitated cantilevers = 기계적 신뢰성이 우수한 엇물린 외팔보를 이용한 디지털 마이크로미러 소자에 관한 연구link

Kim, Dae-Hyun; 김대현; et al, 한국과학기술원, 2010

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