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Long stroke planar motion maglev stage using new conductor structure = 새로운 도체 구조를 이용한 대행정 자기부상 평면구동 스테이지link Woo, Si Woong; 우시웅; et al, 한국과학기술원, 2015 |
반도체 소자의 선폭 및 피치 측정과 불확도 산정에 관한 연구 = Linewidth and pitch measurement of semiconductor devices and uncertainty estimationlink 고영욱; Ko, Yeoung-Uk; et al, 한국과학기술원, 1998 |
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