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보이스 코일 모터와 할바흐 자석 배열 선형 모터를 이용한 초정밀 이중 서보 스테이지 설계와 제어에 관한 연구 = Design and control of ultra-precision dual servo stage using voice coil motor and halbach magnet array linear motorlink

김기현; Kim, Ki-Hyun; et al, 한국과학기술원, 2006

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