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Control of nano-particle generation, growth rate and crystallinity by changing external parameters in $SiH_{4}$ plasmas = $SiH_{4}$ 플라즈마를 이용한 실리콘 계열 나노입자의 합성과 플라즈마 외부변수 조절을 통한 나노입자의 생성량, 성장속도 및 결정성 제어link

Chai, Kil-Byoung; 채길병; et al, 한국과학기술원, 2011

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