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Impact of topography of guide pattern on directed self-assembly process: focusing on defectivity = 화학적 패턴의 구조가 블록공중합체 유도자기조립 공정에 미치는 영향에 대한 연구link Bae, Dajeong; Jung, Yeon Sik; 정연식, 한국과학기술원, 2019 |